能谱扫描成分的深度是多少

扫描电镜的激发下特征X射线的深度约是100-1000nm，其激发体积约10um^3。

所以显然对于你的涂层来说是不行的。

一般认为X射线深度不超过0.02mm，所以具体能不能做XRd也需要实践证明。